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压力传感器固有频率很高,可以测量频率范围很宽的脉动压力


压力传感器固有频率很高,可以测量频率范围很宽的脉动压力:
   用基于介观压阻效应的共振隧穿薄膜替代传统的压阻?#25509;?#21464;片作为敏感元件,通过理论分析和仿真计算验证了该结构对传感器灵敏度、固有频率的影响,从理论上证明了介观压阻效应原理可以提高压力传感器的灵敏度,扩大其测量频率的范围。
   该结构的压力微传感器由于敏感元件与变换元件一体化,尺寸小,其固有频率很高,可以测量频率范围很宽的脉动压力。在不同的偏压下,该传感器的灵敏度不同。说明灵敏度可调节。同样结构的微压力传感器,如果敏感元件是硅或铜镍合金压敏电阻,其灵敏度?#30452;?#20026;0.38x104V/m和O.17×104V/m。可见采用共振隧穿二极管做为敏感元件的微压力传感器其灵敏度较之传统的传感器得到了很大的提高。

   压力传感器应用广泛,例如汽车中的多路压力测量(如空气压力测量和轮胎系统、液压系统、供油系统的压力测量)、环境控制(如加热、通风和空气调节)中的压力测量、航空系统中的压力测量以及医学中动脉血液压力测量等。这里将在传统压力传感器中使用一?#20013;?#21407;理一介观压阻效应口,即在共振隧穿电压附近,通过4个物理过程,将一个微弱的力学信号转化为一个较强的电学信号。
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